洁净室检测应明确其占用状态,状态不同,检测结果也不同。按照《洁净厂房设计规范》GB规定,洁净室检测状态分为三种:
1.空态:设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员;
2.静态:设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员;
3.动态:设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状态下进行工作。
洁净室检测项目中进行静压差检测时应注意以下几点:
1.洁净室的静压差检测应在洁净区域内的门都已关闭的情况下进行;
2.洁净室的静压差检测应从洁净度高到低依次进行检测,一直到直通室外的房间;
3.静压差测管口设在室内没有气流影响的地方即可,保持测管口面与气流流线平行;
4.洁净室的静压差检测的数据应准确到1.0Pa;
5.洁净室的静压差检测仪器可采用检测的数字差压计,测量后应将所有数据保存完整。
洁净室的静压差检测应符合以下标准:
1.级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差不小于5Pa;
2.洁净室与室外的静压差不应小于10Pa;
3.打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时,门内0.6m的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值。
对于达不到以上标准的,应重新调整洁净室新风量、排风量,直到合格为止。