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洁净室检测时对静压差的测试要求解读

来源：技术文章更新时间：2022-09-13 浏览：1244次

　　洁净室检测应明确其占用状态，状态不同，检测结果也不同。按照《洁净厂房设计规范》GB规定，洁净室检测状态分为三种：

　　1.空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员；

　　2.静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员；

　　3.动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

　　洁净室检测项目中进行静压差检测时应注意以下几点：

　　1.洁净室的静压差检测应在洁净区域内的门都已关闭的情况下进行；

　　2.洁净室的静压差检测应从洁净度高到低依次进行检测，一直到直通室外的房间；

　　3.静压差测管口设在室内没有气流影响的地方即可，保持测管口面与气流流线平行；

　　4.洁净室的静压差检测的数据应准确到1.0Pa；

　　5.洁净室的静压差检测仪器可采用检测的数字差压计，测量后应将所有数据保存完整。

　　洁净室的静压差检测应符合以下标准：

　　1.级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差不小于5Pa；

　　2.洁净室与室外的静压差不应小于10Pa；

　　3.打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时，门内0.6m的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值。

　　对于达不到以上标准的，应重新调整洁净室新风量、排风量，直到合格为止。